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全自动石英晶片分检机
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石英晶片的外观缺陷对其质量有着重要影响。该晶片检测设备采用机器视觉技术完成定位及缺陷检测结果等数据的获取,同时控制电机和真空设备等执行机构,完成晶片捡取、分选等工作。整个系统涉及光、机、电、软件等领域,包括三个光源三部工业相机,三个转动电机两个直线电机,能够完成晶片的自动提取,全自动快速缺陷检测,自动分类等功能。设备操作简单,界面友好。
机器视觉是本设备的核心技术,体现在设备的取片子系统与验片子系统中。其中取片子系统可保证整个检测系统能够完成5000片/小时的高速检测;验片子系统可对晶片正反面进行检测,根据晶片的九大缺陷种类进行准确检测和判断。这一核心技术填补了该领域国内外的空白。

技术指标:

检测速度≥5000/小时

检测准确度达到98%以上

表面缺陷尺寸测量精度≤5um

检测目标涵盖石英晶片行业主流各种型号晶片

全自动无人看守工作